Адрес: Беларусь, 220033, Минск, пр. Партизанский, 2/2, комн. 31
Тел.: (+375 17) 2982804, (+375 17) 2973709
E-mail: hr@kbtem-omo.by, office@planar.by
Сайт: planar.by
Оптико-механическое технологическое и контрольно-измерительное оборудование для производства изделий микроэлектроники и МЭМС:
• оборудование для производства фотошаблонов (генератор, контроль, ретушь);
• оборудование для проведения фотолитографии (безмассочное, степперы, контактная печать);
• контрольное и контрольно-измерительное оборудование (критические размеры, контроль микродефектности);
• оборудование для подготовки кристаллов к сборке (зондовый контроль, утонение, разделение);
• сборочное оборудование (для автоматического монтажа кристаллов, монтажа выводов, контроль);
• микроскопия (микроскопы, посты автоматизированного микроконтроля);
• оборудование для проведения испытаний в области (электромагнитной совместимости, электробезопасности, влагозащиты, пожаробезопасности).
Opto-mechanical process equipment and inspection-and-measurement equipment for microelectronics and MEMS fabrication:
• photomask fabrication equipment (pattern generators, pattern inspection systems, pattern repair systems),
• photolithography equipment (maskless pattern generators, wafer steppers, proximity exposure tools),
• inspection and inspection-and-measurement tools (CD inspection and micro defect inspection tools),
• pre-assembly die equipment (wafer probing equipment, wafer grinders, dicing saws),
• assembly equipment (automatic die bonders, wire bonders, assembly inspection tools),
• microscopy (microscopes, automated micro inspection stations),
• test equipment (electromagnetic compatibility, electrical safety, moisture protection, fire safety).